洁净室建设规范
四川华锐净化 2019-03-31 13:34:35 阅读
摘要：随着技术水平的推广，无尘环境被广泛的运用在各行各业的生产过程中，以保证产品的零污染高质量要求。 关键词：洁净室；FFU（风机过滤组合）；HEPA（高效过滤器）
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
一、洁净室管控项目
正如前面洁净室的定义所讲，洁净室不单要对尘埃粒子的占有量进行要求，
而且对整个环境等的相关因素进行管控，具体项目如下：
1.能除去空气中飘游之微尘粒子；2.能防止微尘粒子之产生
3.温度和湿度之控制；4.压力之调节
5.有害气体之排除；6.结构物与隔间之气密性；7.静电之防制；8.电磁干扰预防；9.安全因素之考虑。
10.节能之考量
二、洁净室净化等级划分标准
世界各国均有自定行的定义规格，但目前比较普遍通用的还是美国联邦标准209E和日本采用公制以每立方公尺为单位的ISO标准。
209E标准中洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数字是以每立方公尺中≥0.5μm之微尘粒子的数目以10的幂次方表示，取其指数表示。若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5等表示。
日本在209E标准的基础上采用公制单位，即以每立方公尺为计数单位的ISO标准。以0.1μm微粒子为计数标准，表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class9表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 9。
三、洁净室分类
按照洁净室的架构不同而分为紊流式、层流式、复合式三种。
1.紊流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式
空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由对立面的地板或隔墙板排风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为100以下。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式
复合式为将紊流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
四、洁净室气流之流动
洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素趋于混乱。
1.气流速度数值在0.2~0.52m/s之间，属微风区域，易受人、机器动作的干
扰趋于混乱。虽提高风速可抑制此干扰，但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，以最适当的风速供应，达到经济性效果。
2.换气次数（气流速度的展现）
净化等级与换气次数的对应关系：
100级 ≥360次/h
1000级 ≥150次/h
10000级 ≥25次/h
100000级 ≥15次/h
五、洁净室尘埃测量标准
洁净室尘埃测量需按照如下要求进行：
1.静态测量
环境自净20min后，方可测量
2.测量点选择
在距离地板最少1.2m处测量（即在所需的工作台面上测量）
3.风机及Hepa检验时（风速、尘埃数量）
在Hepa下方3cm处取其四角、中心五点进行检验
六、洁净室的保养
洁净室属于一套自带独立功能的复杂设备，正如其他自动化设备一样，同样需要定期、如时的保养维护。只有维护保养到位，其净化功能才能淋漓尽致的发挥，最终达到使用者对环境质量预期的管控效果。洁净室的保养主要涉及以下内容：
1.高效过滤器的功效检查及保养
（1）泄露测量/季。在过滤器下方3cm左右处进行尘埃颗粒量测，含及整个过滤面，逐行量测。
（2）压损测量/季。压损即指风机排出的气流经高效过滤（阻塞）后的损失。
2.初效过滤器的维护保养
初效过滤器是FFU组合中的第一道滤网，也是室外空气进入洁净室的第一道关口。过滤等级一般在30~65%左右，就是否可以进行“清洗保养/季”还是“直接更换/季”要依实际的现场状况来定。
3.风机功能检查及保养
（1）运转有无异音能 ；（2）指示灯工作是否正常；（3）风叶的清洁/周。
4.各参数的权重
对于一套FFU，功效的完好与否就取决于以上各参数的数值，但各个参数的
重要性还是有差异的，具体权重可参考如下，由高到低：风速、过滤效率、压损、泄漏。
结局语：
我们要判断一个洁净室的净化质量不能简单的从某一个参数来说明，要在确认净化等级的前提下横向纵向进行比较论证，反复的进行试验性验证，方可得出正确的结论，即各设备是否工作状态良好，或有的放矢的对问题设备进行处理。
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
一、洁净室管控项目
正如前面洁净室的定义所讲，洁净室不单要对尘埃粒子的占有量进行要求，
而且对整个环境等的相关因素进行管控，具体项目如下：
1.能除去空气中飘游之微尘粒子；2.能防止微尘粒子之产生
3.温度和湿度之控制；4.压力之调节
5.有害气体之排除；6.结构物与隔间之气密性；7.静电之防制；8.电磁干扰预防；9.安全因素之考虑。
10.节能之考量
二、洁净室净化等级划分标准
世界各国均有自定行的定义规格，但目前比较普遍通用的还是美国联邦标准209E和日本采用公制以每立方公尺为单位的ISO标准。
209E标准中洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数字是以每立方公尺中≥0.5μm之微尘粒子的数目以10的幂次方表示，取其指数表示。若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5等表示。
日本在209E标准的基础上采用公制单位，即以每立方公尺为计数单位的ISO标准。以0.1μm微粒子为计数标准，表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class9表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 9。
三、洁净室分类
按照洁净室的架构不同而分为紊流式、层流式、复合式三种。
1.紊流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式
空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由对立面的地板或隔墙板排风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为100以下。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式
复合式为将紊流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
四、洁净室气流之流动
洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素趋于混乱。
1.气流速度数值在0.2~0.52m/s之间，属微风区域，易受人、机器动作的干
扰趋于混乱。虽提高风速可抑制此干扰，但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，以最适当的风速供应，达到经济性效果。
2.换气次数（气流速度的展现）
净化等级与换气次数的对应关系：
100级 ≥360次/h
1000级 ≥150次/h
10000级 ≥25次/h
100000级 ≥15次/h
五、洁净室尘埃测量标准
洁净室尘埃测量需按照如下要求进行：
1.静态测量
环境自净20min后，方可测量
2.测量点选择
在距离地板最少1.2m处测量（即在所需的工作台面上测量）
3.风机及Hepa检验时（风速、尘埃数量）
在Hepa下方3cm处取其四角、中心五点进行检验
六、洁净室的保养
洁净室属于一套自带独立功能的复杂设备，正如其他自动化设备一样，同样需要定期、如时的保养维护。只有维护保养到位，其净化功能才能淋漓尽致的发挥，最终达到使用者对环境质量预期的管控效果。洁净室的保养主要涉及以下内容：
1.高效过滤器的功效检查及保养
（1）泄露测量/季。在过滤器下方3cm左右处进行尘埃颗粒量测，含及整个过滤面，逐行量测。
（2）压损测量/季。压损即指风机排出的气流经高效过滤（阻塞）后的损失。
2.初效过滤器的维护保养
初效过滤器是FFU组合中的第一道滤网，也是室外空气进入洁净室的第一道关口。过滤等级一般在30~65%左右，就是否可以进行“清洗保养/季”还是“直接更换/季”要依实际的现场状况来定。
3.风机功能检查及保养
（1）运转有无异音能 ；（2）指示灯工作是否正常；（3）风叶的清洁/周。
4.各参数的权重
对于一套FFU，功效的完好与否就取决于以上各参数的数值，但各个参数的
重要性还是有差异的，具体权重可参考如下，由高到低：风速、过滤效率、压损、泄漏。
结局语：
我们要判断一个洁净室的净化质量不能简单的从某一个参数来说明，要在确认净化等级的前提下横向纵向进行比较论证，反复的进行试验性验证，方可得出正确的结论，即各设备是否工作状态良好，或有的放矢的对问题设备进行处理。
洁净实验室的装饰要求
浅谈净化工程中洁净室等级百级、千级、万级、十万级的划分标