关于某5级洁净室改造设计的探讨

四川华锐净化 2019-04-03 21:52:01 阅读

摘要:本文对洁净室改造设计存在问题及要求,改造设计的思路原则,工程改造设计说明以及控制设计说明进行了简单的分析和阐述,对某5级洁净室改造设计进行探讨。

 5级洁净室平面已经在某精密光学工程研究中心建成的,分为内、外两间,对其洁净度、空气温度和相对湿度有所保证的就是分别由其上部硬吊顶内设置的二台组装室空调系统JK-1及JK-2。混合新风和回风、过滤初效、降温去湿(或加热)、加压、中效过滤处理后通过管道送入洁净室上部软吊顶静压箱再通过满布高效过滤器和稳压孔板进入洁净室,回风由二侧回风夹道下部的百合回风经回风管道回至空调器混合段,就是空气过程。空调冷源为集中设置的风冷模块式冷(热)水机组(每个模块制冷量为110kw共6个模块,合计为660kw)供空调用冷水或热水。 

  一、存在问题及要求 
  把实验工艺要求去掉两个5级洁净间的隔断作为依据,并且把其中的一个清洗间间隔出来,剩下的部分就是涂膜间。 
  空气的洁净度要求是5级,20±2℃是室内温度,小于40%是相对湿度。另外,甲苯、正丁醇等有机溶剂是在清洗间使用的;涂膜间正常工作就是清洗间间歇使用,使用时间很少。这个5级洁净室在建成以后基本上都没有使用过,存在的主要问题之一是:空调系统对相对湿度小于40%要求的没有保证。通过对这个中心集中冷源供冷水温度一般为9℃左右要有所了解和知道。第二个就是:这个5级洁净室设施工安装也都差不多一样,满布有隔板高效过滤器机械压紧式安装,130mm是过滤器和过滤器之间间隔宽度;尤其是高效过滤器出风面500~600是四周照明灯带的宽度。所以,小于65%是高效过滤器的满布率,盲区所形成的涡流区范围大,对于全性的5级洁净度的要求根本实现不了,特别是工艺设备的布置与使用被周边区的照明灯带盲区。 
  二、改造设计的思路原则 
  这个中心的冷源供水温度一般为9℃左右在上面已经有过相应的论述,很明显的就是,9℃的冷水先不说,就算是PJ的冷水也对相对湿度<40%的要求也没有办法实现。把这个冷冻站所供的洁净空调面积及工艺情况作为依据,经过粗略地对冷量进行核算以后是足够的,至于比较高的供水温度,可能是因为系统配套的冷冻水循环水泵的流量过于大,扬程过高所致。所以,改造设计应该在对现有冷源及空调系统进行利用的基础上,对解决问题的方案进行寻求,以求得对工艺要求有所满足,又对投资有所节约的目的。 
  三、工程改造设计说明 
  1、洁净室部分 
  在工艺区内将内、外间的隔断去掉作为依据,外移风淋室,可以对房间进行净化,清洗间要在内间左上角有2.5x1.6的空间隔出。对液槽密封方式重新进行采取,对满布无隔板高效过滤器进行安装,50mm是液槽的宽度,将四周的照明灯带去掉,在液槽内设置泪珠式洁净化灯,从而对高效过滤器的满布率进行提高,对涡流区围大大地进行了缩小,对真正的全室性5级洁净度有所实现,提供给工艺设备的布置和使用的灵活性。对二侧回风夹道上的回风口面积进行增加,更加合理地组织气流。 
  2、净化空调系统部分 
  实验室内工艺设备的发热量不大,除了3 ~4个操作人员的产湿量外,其它是没有产湿量的。因为在土建维护结构内,洁净室是用夹芯彩钢板制作成的,所以,通过维护结构从外部进入室内的热湿负荷是很小的。 
  四、控制设计说明 
  1、工况转换控制 
  把这个实验室的使用作为依据,可以把它分为三种工况。 
  1.1同时工作的清洗间和涂膜间,这时投入全部的系统设备运行,新风量或排风量是最大的。 
  1.2正常工作的涂膜间,浸泡工序就是清洗间所处于的环境,这时没有要求对清洗间的空气参数,但是需要对负压有所保持,这时,停止运行的是S-1机组,排风量由大变到对房间负压有所维持的风量就是排风系统P-1,由大减至总风量的5%是新风系统的处理风量。 
  1.3停止工作的清洗间,除了涂膜间正常工作,这时停止工作的是系统中的S-1及P-1系统。总风量的5%是新风量减小的范围,相应减小的还有转轮除湿机的负荷。 
  上面所描述的这三种工况的实现都是通过风管上的电动阀门的交替。 
  2、系统自动控制 
  对PLC编程控制进行采用,季节工况转换判断就是把温度湿度测头置于新风段。当室外空气的含湿量在d1-d2之间时,则由新风系统空调器予冷却器除湿降温。如果室外空气含湿量≤d2时,就要停止新风冷却除湿。 
  温湿度测头置于新风表冷器之后,通过调节新风空调器水系统上的电动三通水阀保证机器露点恒定。 
  在室内设置温湿度侧头,把室内温度变化作为依据,对水流的改变是对送风系统JK-1、JK-2空调干冷却器冷水管路上的电动通阀进行调节,对是温度有所保持,另外,把室内相对湿度的变化控制氯化锂转轮除湿机电动旁通阀门或再生电加热器的加热量作为依据,对除湿机的除湿量进行调节,从而对室内相对湿度在允许范围内有所保证。 
  3、实验室工艺工况的转换过程控制 
  第一工况(清洗间、涂膜间正常工作) 
  (1)均投入运行的JK-1、JK-2、JS-2以及P-1、CA系统。 
  (2)电动风阀①、③、④、⑦全开;②关闭,⑤、⑥开小。 
  第二工况(涂膜间正常工作,清洗间处于浸泡工序) 
  (1)JK-1、JK-2、JS-2正常运行;JS-1停止运行;P-1及CA系统转入变频控制运行。 
  (2)电动风阀⑤、⑥开大;①、③、④、⑦开小。 
  第三工况(仅涂膜间照常工作,清洗间不工作) 
  (1)CA系统及JK-1,JK-2、JS-2仍保持第二工况的运行状态,P-1系统停止运行。 
  (2)电动风阀⑦关闭,其余风阀同第二工况状态。冬季CA新风除湿系统停止运行,电动风阀①关,⑦开。其余阀门,同第三工况,即混合、加热直接向室内送风。 
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