高新电子芯片厂房百级防护洁净室成套施工技术

　1 概 述 　　随着我国产业结构的调整和高新技术产业的迅猛发展，微电子、光电通讯、生物制药、精细化工、精密仪器等一批新型生产企业的建立，其研制、生产所需的洁净厂房的规模越来越大，要求越来越高，对施工企业的技术、工艺与管理也提出了新的要求。 
　　2 施工工艺流程及施工步骤 
　　2.1 工艺流程 
　　4.2 施工步骤 
　　4.2.1、土建施工 
　　同FRP模板施工步骤。 
　　4.2.2、洁净厂房装饰施工 
　　在洁净室建筑装饰施工过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间（如吊顶和夹墙内部等）还应做好清扫记录。 
　　应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。 
　　对已安装高效过滤器的房间，不得进行有粉尘的作业。 
　　密封胶嵌固前，应将基槽内的杂质、油污剔除干净，并保持表面干燥。 
　　洁净室临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。 
　　施工现场应保证良好的通风和照明。 
　　防静电地板施工 
　　首先清理地面。观察房间的布局，安装好红外线水平扫描仪，在四周的墙面上打好半腰水平，然后找出房间的最低点和最高点，计算地面到板面的平均值（此平均值等于设计要求的安装高度600mm），计算并调节好支架高度。 
　　沿着基准排，逐排铺设大面地板。将脚架摆放于相应位置，一般区脚架为Φ48，加强区脚架为Φ60。利用镭射仪调整上基座至接近地板下之高度位置(粗平)。 
　　脚架调平后,开始抹胶,胶应均匀地涂抹于底盘上。 
　　将抹好胶的脚架置于地面之同时,摆放纵横向的横梁.一般区为25×25×558的门形横梁.加强区为25×25×558方形横梁且中间加一支25×25×776的加强斜梁。 
　　锁横梁螺丝。 
　　敲导电垫片。 
　　铺地板,借助地板本身标准尺寸600×600mm，按施工图上的不同型号地板,逐片摆放地板,利用镭射仪调整上基座.使地板表面高度与水平标高线相平(精平).在大面施作时，每50mm排需用经纬仪检验X、Y轴之垂直适合位移，随时进行调整修正。 
　　收边处理 
　　膨胀螺丝的施工 
　　当大面施作48小时后，其胶已凝固，便可安排一组人力进行膨胀螺丝施工。在钻孔时，边钻孔边吸尘，每一支脚架对角安装两颗M6×46的膨胀螺丝。 
　　接地线施工 
　　先剪一段约15cm长的裸铜线与端子连接。 
　　将端子连接头以螺丝固定于下基座的接地头上。 
　　将横向及纵向之Φ2裸铜线间隔1.2m,以套管连接于端子上固定．便形成一个导电网，将导电网与建筑物的接地箱连接。 
　　净化空调系统施工 
　　风管和部件的板材应按设计要求选用，采用优质镀锌钢板。 
　　风管不得有横向拼接缝，尽量减少纵向拼接缝。矩形风管底边宽度等于或小于800mm时，其底边不得有纵向拼接缝。 
　　风管板材的拼接采用单咬口；圆形风管的闭合缝采用单咬口，弯管的横向缝采用立咬口；矩形风管转角缝采用转角咬口、联合角咬口或按扣式咬口。上述咬口缝处都必须涂密封胶或贴密封胶带。 
　　风管内表面必须平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。 
　　风管应按按表要求刷涂。刷涂前必须除去钢板表面油污和铁锈，干燥后再刷涂。涂层应无漏涂、起泡、露底现象。 
　　加工镀锌钢板风管应避免损坏镀锌层，损坏处（如咬口、折边、铆接处等）应刷涂优质涂料两遍。 
　　柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气和不产生静电的材料制作，光面向里。接缝应严密不漏风，其长度一般取150-250mm。安装完毕后不得有开裂或扭曲现象。 
　　金属风管与法兰连接时，风管翻边应平整并紧贴法兰，宽度不应小于7mm，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。 
　　法兰螺钉孔和铆钉孔间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺钉孔。螺钉、螺母、垫片和铆钉应镀锌。不得选用空心铆钉。 
　　中效过滤器后的送风管法兰铆钉缝处应涂密封胶，或采取其他密封措施。涂密封胶前应清除表面尘土和油污。 
　　系统安装 
　　法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘的材料，严禁采用乳胶海绵、泡沫塑料、厚纸板、石棉绳、铅油、麻丝以及油毡纸等含开孔孔隙和易产尘的材料。密封垫厚度根据材料弹性大小决定，一般为4-6mm。一对法兰的密封垫规格、性能及厚度应相同。严禁在密封垫上刷涂涂料。 
　　法兰密封垫应尽量减少接头。接头采用阶梯形或企口形，并涂密封胶，如图所示。密封垫应擦拭干净后，涂胶粘牢在法兰上，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁相平。 
　　风管上成对法兰的拧紧力矩要大小一致，安装后不应有松紧不匀的现象。 
　　经清洗干净包装密封的风管及其部件，安装前不得拆卸。安装时拆开端口封膜后，随即连接好接头；如安装中间停顿，应将端口重新封好。 
　　风阀、消声器等部件安装时必须清除内表面的油污和尘土。 
　　风阀的轴和阀体连接处缝隙应有密封措施，阀的各部分（包括外框、活动件、固定件及连接螺钉、螺帽、垫片等）表面应做镀铬、镀锌或喷塑处理，叶片及密封件表面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。 
　　高效过滤器安装施工 
　　高效过滤器安装前，必须对洁净室进行全面清扫、擦净，净化系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶安装高效过滤器，则技术夹层或吊顶内也应进行全面清扫、擦净。 
　　洁净室及净化空调系统达到清洁要求后，净化空调系统必须试运转。连续运转12h以上，再次清扫、擦净洁净室后立即安装高效过滤器。 
　　安装高效过滤器的框架要平整，每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm。 
　　高效过滤器和框架之间的密封采用密封垫和双环密封，要求把填补表面，过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。 
　　高效过滤器扩散板的安装 
　　高效过滤器安装完毕后，既进行扩散板的安装。 
　　扩散板安装前应用清水进行彻底清洗，注意清洗后不要用毛巾等易产尘、积尘的棉织物擦干，而应自然风干；也可清洗后未待风干直接安装。 
　　扩散板安装后要求做到平整、美观、牢固。 
　　空调器安装 
　　安装空调器时应对设备内部进行清洗、擦拭，除去尘土、杂物和油污。 
　　设备检查门的门框应该平整，密封垫应符合设计对法兰密封垫的要求。 
　　净化空调系统的空调器接缝应做密封处理，安装后应进行密封检查，其方法按附录四“空调器漏风率检测法”进行检漏、堵漏，测量其漏风率。测量漏风率时，空调器内静压保持1000Pa。洁净度等于或高于1000级的系统，空调器漏风率不应大于１％；洁净度低于1000级的系统，空调器漏风率不应大于2%。 
　　过滤器前后必须装压差计，压差测定管应畅通、严密、无变形和裂缝。 
　　表冷器冷凝水排出管上应设水封装置和阀门，在无冷凝水排出季节应关闭阀门，保证空调器密闭不漏风。 
　　3 质量控制措施 
　　3. 1、洁净度 
　　一百级：≥0.5μm的尘埃颗粒数≤3.5颗/L； 
　　≥5μm的尘埃颗粒数≤0.0颗/L； 
　　3.1.2、室内噪声 
　　≤65dB（A）单向流，采用ND－12声级器检测； 
　　≤60dB（A）非单向流，采用ND－12声级器检测； 
　　3.1.3、室内压差 
　　≥5－10MPa，采用YYT－200B斜管压差计检测； 
　　3.1.4、室内温度 
　　按设计要求±2℃。 
　　3.1.5、室内湿度 
　　按设计要求±5％。 
　　3.1.2、测试方法 
　　3.1.2.1、高效过滤器检漏－粒子计数器法。 
　　A、被检测高效过滤器必须已测过风量，在设计风速的80％－120％之间运行； 
　　B、在被检测高效过滤器上风测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μm微粒为准其浓度必须大于或等于3.5×104粒/L。 
　　C、检漏时采样口放在距离被检测过滤器表面20－30mm处，以5－20mm/s的速度移动，对被检测过滤器整个表面，封头胶和安装框架进行扫描。 
　　3.1.2.2、静压差测定 
　　A、静压差的测定应在所有的门关闭时进行，并应从平面上最里面的房间依次向外测定。 
　　B、对于洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。 
　　3.1.3、室内洁净度的测定 
　　测点的分布多于5点时可分层布置，但每层不少于5点。 
　　5点或5点以下时，可布置在离地0.8m高平面的对角线上或该平面上的两个过滤器之间的地点。 
　　3. 4、室内噪声的测定 
　　3. 4.1、测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测4声级的数值。 
　　3. 4.2、测点位置：面积＜15m2，室中心1点，测点高度距地面1.1m。 
　　3. 5、照明的检测 
　　3. 5.1、室内照度可用便携式照度计测定。 
　　3. 5.2、室内照度必须室温已趋向稳定、光源光输出趋于稳定后进行。 
　　3. 5.3、洁净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。 
　　3. 5.4、测点平面距地面0.8m，按1-2m间距布置，测点距离墙面1m（小面积房间为0.5m）。 
　　根据以上检测数据，出具相关检测报告，作为竣工资料。 
　　3. 5.5、应根据洁净度级别的高低按下表的规定进行。 
　　4 施工环境保护要求 
　　4.1、成立施工现场环境卫生管理机构，在工程施工中严格遵守国家和地方政府下发的有关环境保护的法律、法规和规章制度。加强对工程材料、设备、废水、生产生活水平垃圾、弃渣等的控制和治理，遵守有防火和废弃物处理的规章制度。 
　　4.2、规范施工现场的场容，保持作业环境的整洁卫生。 
　　4.3、减少施工对周围环境的影响，保证职工的安全和身体健康。 
　　4.4、机械停放或行走不得侵占场内道路，保证施工道路畅通，排水系统处于良好状态，保持场容场貌整洁随时清理建筑垃圾。 
　　5 结 论 
　　(1) 本文结合工程实践，研究了百级防护洁净室施工工法及施工质量保证措施，为这类工程项目积累了一整套施工技术和经验。 
　　(2) 先后将百级防护洁净室施工工法应用于四项电子芯片厂房尤其是成都成芯半导体制造有限公司八英寸芯片厂房无尘室模板的施工中，确保了工程质量和进度，保证了质量、安全，而且得到了建设单位、设计单位、监理单位以及同行业专家的好评。 
　　(3) 百级防护洁净室施工工法体现了技术先进、经济合理、有效缩短工期、适应环保要求，取得了良好的经济效益和社会效益，具有良好的市场发展潜力。